萬級無塵車間(Class 10,000 Cleanroom)是空氣潔凈度達到ISO 8 級(對應聯邦標準 209E 中的 Class 10,000)的潔凈空間,廣泛應用于電子、醫藥、精密制造、食品加工等對環境污染物敏感的行業。
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其核心要求是控制空氣中懸浮粒子(塵埃、微生物、氣溶膠等)的濃度,以保證生產過程的穩定性和產品質量。
根據國際標準(ISO 14644-1)和國內規范(GB 50073-2013),萬級無塵車間的關鍵參數如下:
懸浮粒子濃度
每立方米空氣中,粒徑≥0.5μm 的粒子數≤352,000 個;
粒徑≥5μm 的粒子數≤2,000 個(部分行業如醫藥會額外限制更大粒徑粒子)。
微生物控制
醫藥、食品等行業需同時控制微生物(細菌、真菌),通常要求浮游菌≤100 CFU/m3,沉降菌≤3 CFU/Φ90mm 培養皿(0.5 小時)。
其他環境參數
溫度:一般控制在20-24℃(可根據工藝調整,精度 ±2℃);
相對濕度:45-65%(精度 ±5%,避免靜電或材料受潮);
壓差:車間與非潔凈區的靜壓差≥10Pa,不同潔凈級別的相鄰區域壓差≥5Pa,防止外部污染滲入;
換氣次數:≥20-30 次 / 小時(遠高于普通車間的 3-5 次 / 小時),通過高效過濾的空氣持續置換,維持潔凈度。