東莞無塵車間的清洗事項介紹

　　（一）、RCA Method
　　1、DI Water 5min，有明顯粘污時用無塵布和酒精擦拭。
　　2、H2SO4:H2O2=3:1煮30min，去金屬、有機、油。
　　3、DI Water 5min。
　　4、BOE 2 min，去自然氧化層(Native Oxide)。
　　5、DI Water 5min。
　　6、Spin Dry。
　　（二）、清洗事項：
　　1、有水則先倒水，H2O2最后倒，數字比為體積比。
　　2、有機與酸堿絕對不可混合，操作平臺也務必分開使用。
　　3、酸堿溶液等冷卻后倒入回收槽，并以DI Water沖玻璃杯5 min。
　　4、酸堿空瓶以水清洗后，并依塑料瓶、玻璃瓶分開置于室外回收筒。
　　5、氫氟酸會腐蝕骨頭，若碰到立即用葡萄酸鈣加水涂抹，再用清水沖洗干凈，并就醫。碰到其它酸堿則立即以DI Water大量沖洗。
　　6、清洗后之Wafer盡量放在DI Water中避免污染。
　　7、去除正光阻步驟為丙酮DI Water。
　　8、每個玻璃杯或槽都有特定要裝的溶液+蝕刻、清洗、電鍍、有機絕不能混合。
　　9、廢液回收分酸、堿、氫氟酸、有機四種，分開回收并記錄，傾倒前先檢查廢棄物兼容性表，確定無誤再傾倒。
　　在東莞無塵車間工作的作業人員都必須掌握近幾期的操作知識及注意事項，這些也是有資格進入東莞無塵車間工作的最基本常識，企業考核的標準內容。