無塵潔凈室能耗成本分析：

  　“據(jù)不完全統(tǒng)計，潔凈室的能耗是一般寫字樓的10倍-30倍。我國的8英寸集成電路芯片制造廠，其潔凈室單位面積能耗達到1.48千瓦/平方米～1.93千瓦/平方米，比美國同類型工廠高15%?！鄙虾Ｊ惺覂?nèi)環(huán)境凈化協(xié)會秘書長王芳告訴《中國電子報》記者，“以上海某知名芯片廠為例，其全年耗電量的51%用于潔凈室運行維護。如果能將這51%的能耗合理降低，對企業(yè)來說就意味著利潤的增長?！?br /> 　　不僅如此，潔凈室的建造費用也十分驚人。《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》主要起草人之一秦學(xué)禮在接受《中國電子報》記者采訪時表示，ISO6級(相當于美國標準FS2091000級)潔凈室單位面積建造成本約為3000元/平方米～4000元/平方米，而ISO4級(相當于美國標準FS20910級)潔凈室單位面積建造成本則高達1萬元/平方米。
     由于潔凈室建設(shè)費用很高且不同潔凈等級的建設(shè)費用相差較大，因此，在潔凈室設(shè)計過程中，設(shè)計師不僅需要合理布置工藝設(shè)備以盡量減少潔凈區(qū)的面積，而且也要針對不同的生產(chǎn)環(huán)節(jié)設(shè)置不同的潔凈等級。目前，12英寸集成電路芯片制造工廠普遍采用“開放式潔凈室加微環(huán)境”的方式，將芯片制造過程中對空氣潔凈度要求十分嚴格的硅片加工過程布置在1級-4級的微環(huán)境裝置內(nèi)，而開放式潔凈室的潔凈度等級只需5級-6級，這樣就有效地降低了建設(shè)/運營投資以及能耗。

      在我國，潔凈廠房的能源消耗是相當大的。能源消耗主要用于生產(chǎn)設(shè)備用電和用熱、凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電/耗熱和冷負荷、冷凍機組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和輸送以及公用設(shè)施和照明的用電等。為達到潔凈室要求的空氣潔凈度等級，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量很大。一般空調(diào)房間的每小時換氣次數(shù)只需要幾次，而潔凈室每小時換氣次數(shù)達到10次～600次。由于技術(shù)的原因，我國的潔凈室在能耗方面又高于歐美發(fā)達國家。

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